CRMS1000采用光腔衰荡光谱技术，通过独特的腔设计，并结合精确的温度压力控制，可以实现H2O的在线精确测量，具备ppt级别的分析精度、无漂移的稳定性和快速响应，确保电子气体和大宗气体生产过程中的品质。。
当一束单波长激光进入衰荡腔后，光强在两个高反射率镜面之间来回反射震荡产生叠加。当透射光强达到一定阈值时，快速切断光源，腔内存留的光强会随时间呈指数进行衰减，衰减的时间与光腔自身的损耗和腔内待测组分（介质）的吸收有关。对于给定的光腔，其自身的损耗为常量。光强衰减的时间与被测组分的含量相关，可根据光强衰减时间换算得到待测组分含量的相关信息。
1.性能特点
l 快速响应，实时测量 ；
l 高精度、高准确度、低漂移
l 使用简单，长期无故障运行
l 绝对测量，无需标定
l 量程广，高达4个数量级的测量浓度范围
l 无易损耗部件，运行成本低；
l 具备温压控制模块，提高测量精度；
l ppt级别分析精度、无漂移的稳定性和快速响应；
2.技术参数
背景气 | 氮气 | 八氟环戊烯 | 六氟乙烷 | 八氟丙烷 | 八氟环丁烷 | 氢 气 |
检测下限 | 1ppb | 1ppb | 1ppb | 1ppb | 1ppb | 5ppb |
测量范围 | 0~20ppm | 0~20ppm | 0~20ppm | 0~20ppm | 0~20ppm | 0-20ppm |
备注：*表格中未注明的背景气检出限可咨询厂家 | ||||||
适用气体 | 环境空气 | |||||
环境条件 | 温度：10-40℃；湿度：20%-80%，非冷凝 | |||||
储存温度 | -10—+50℃ | |||||
腔体材质 | 常规气体为316L EP级，腐蚀性气体腔体为哈氏合金 | |||||
腔温控制精度 | ±0.1℃ | |||||
响应时间T90 | <1min | |||||
灵敏度 | ±0.75%或1/3LDL | |||||
最低检测下限LDL(3δ) | 0.5ppb | |||||
测量范围 | 0-20ppm | |||||
检测精度 | ±3%的读数或±1/2 LDL | |||||
管路连接 | 1/4英寸VCR公头 | |||||
泄漏参数 | 1*10-9mbar*L/s | |||||
进气压力 | 1.5—9Bar | |||||
气体流速 | 0.2~2 L/min(N2条件下) | |||||
外形尺寸（D×H×L） | 700（深）*180（高）*412（宽）mm | |||||
电源要求 | 170-260VAC，50-60Hz | |||||
功率 | Max 60W | |||||
显示 | 7英寸液晶触控屏 | |||||
通讯接口 | 以太网、USB ,RS232、RS485 | |||||
数据存储 | 内部或外部闪存 | |||||
3.应用领域
l 电子特气、半导体制造、石油化工、锂电新能源、航空航天、光伏及高端精密制造等对水分含量控制要求严苛的领域；
l 科研机构的痕量水分分析实验；